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恒溫電熱板作為半導體材料晶圓加熱方式的好處

返回列表 來(lái)源: 市場(chǎng)部 發(fā)布日期: 2023.04.26
半導體材料是當今電子技術(shù)中最重要的材料之一,其中晶圓作為半導體芯片加工的基礎材料,在電子產(chǎn)業(yè)中起著(zhù)至關(guān)重要的作用。晶圓加熱是半導體器件制造過(guò)程中必不可少的一個(gè)環(huán)節,通常需要將晶圓加熱到高溫狀態(tài)進(jìn)行各種表面處理和加工。在這個(gè)過(guò)程中,如何保證晶圓的加熱均勻性、穩定性和安全性,對于半導體器件的質(zhì)量和性能有著(zhù)直接的影響。因此,選擇合適的加熱設備以及加熱方式顯得尤為重要。

在晶圓加熱設備中,恒溫電熱板是一種經(jīng)濟實(shí)用、效果良好的加熱設備,廣泛應用于半導體器件、光學(xué)元件等領(lǐng)域。相比其他加熱設備,恒溫電熱板具有加熱面積大、溫度均勻、穩定性好、控制精度高、安全可靠等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí),恒溫電熱板還可以根據實(shí)際需求進(jìn)行多重參數的調整和設置,實(shí)現更為靈活和精確的加熱控制,滿(mǎn)足不同加熱處理的要求。因此,選擇合適的恒溫電熱板對于保證晶圓加熱過(guò)程的質(zhì)量和效率具有重要的意義。

半導體晶圓加熱選實(shí)驗電熱板的好處


格丹納HT-200恒溫電熱板加熱半導體中的晶圓具有以下好處:

溫度均勻性:HT-200恒溫電熱板采用玻璃陶瓷臺面,能夠提供相對較大的加熱面積,并能夠使加熱溫度在整個(gè)晶圓表面分布均勻,避免局部過(guò)熱或者過(guò)冷現象的出現。

穩定性:HT-200恒溫電熱板控制方式采用分體設計,人員操作控制器時(shí)遠離酸霧,安全且便于操作。鉑金電阻精確控溫,升溫快速、加熱均勻,溫度可達400℃,可以精確控制晶圓的加熱溫度,并且能夠快速響應溫度變化,使得晶圓溫度保持在設定范圍之內。

安全性:HT-200恒溫電熱板具有熱警顯示,加熱臺面表面溫度超過(guò)50℃時(shí),大警示燈變成紅色警示,更安全。整機機身無(wú)按鍵且噴涂多層特氟龍防腐漆雙重保護更耐腐蝕,使用更加安全可靠。

便捷性:HT-200恒溫電熱板可以提供大加熱面積,便于批量晶圓處理,同時(shí)具有大屏幕LCD液晶直觀(guān)顯示,操作方便。

實(shí)驗電熱板


為何選擇格丹納的HT-200恒溫電熱板,主要是因為它具備以下特點(diǎn):

高品質(zhì)材料:恒溫電熱板采用高品質(zhì)的玻璃陶瓷臺面,能夠耐高溫不長(cháng)銹,同時(shí)耐磨損、壽命長(cháng)、表面光滑易清潔。

精準控溫:采用鉑金電阻控制技術(shù),能夠精準控制加熱溫度,溫度穩定度高達±1℃,測溫精度為±0.2℃。

安全可靠:具有過(guò)溫保護和過(guò)載保護等安全措施,同時(shí)具有熱警顯示功能,有效避免因操作不當或其他原因導致的事故發(fā)生。

廣泛適用性:適用于不同領(lǐng)域的樣品加熱處理,包括環(huán)境監測、農業(yè)食品檢驗、產(chǎn)品質(zhì)量控制、科學(xué)研究和疾病預防控制等。

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