X射線(xiàn)熒光光譜法的定量分析是以熒光X射線(xiàn)的強度為依據的，因此，一切影響X射線(xiàn)熒光光譜儀射線(xiàn)強度的因素都必將影響分析的準確度。

1、基體效應

基體效應包括吸收效應及增強效應兩種效應。

吸收效應包括基體對入射X射線(xiàn)的吸收及對熒光X射線(xiàn)的吸收。因為用入射X射線(xiàn)激發(fā)樣品時(shí)，它不只是作用于樣品表面而且能穿透一定的厚度進(jìn)入樣品內部，同樣，樣品內部分析元素產(chǎn)生的熒光X射線(xiàn)，也必須穿過(guò)一定厚度的樣品才能射出。顯然，在穿透過(guò)程中，這兩種X射線(xiàn)都會(huì )因基體元素的吸收而使其強度減弱，入射X射線(xiàn)強度的減弱會(huì )影響對分析元素的激發(fā)效率，而X射線(xiàn)熒光強度的降低則直接影響分析準確度。

若入射X射線(xiàn)使某基體元素激發(fā)所產(chǎn)生的熒光X射線(xiàn)的波長(cháng)稍短于分析元素的吸收邊，它便會(huì )使分析元素ipA發(fā)產(chǎn)生二次熒光X射線(xiàn)，從而使分析元素的熒光X射線(xiàn)強度增強，這就是墓體的增強效應。

如果吸收效應占主導地位，則分析結果偏低，如果增強效應占主導地位，則分析結果偏高。

2、不均勻效應

不均勻效應系指樣品顆粒大小不均勻及樣品表面光潔度對熒光X射線(xiàn)強度的影響。對于粉末樣品，大顆粒吸收效應強，小顆粒吸收效應弱，因此，要求顆粒粒度盡量小一些，以減少對X射線(xiàn)的吸收。測員短波X射線(xiàn)時(shí)，一般要求粒度在250目以上，‘測量波長(cháng)大于0.2nm的長(cháng)波x射線(xiàn)時(shí)，則要求粒度在400目以上。

固體塊狀試樣的喪而一定要磨平拋光，對粉末試樣則要求壓實(shí)并使表面平滑。粗糙表面會(huì )使熒光X射線(xiàn)的強度明顯下降。測量短波X射線(xiàn)時(shí)，要求光潔度在1005m左右，測量長(cháng)波X射線(xiàn)時(shí)，光潔度為20-50Mm。